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思科涡旋科技(杭州)有限公司主营:微型真空泵,前级泵,无油真空泵,涡旋真空泵,实验室真空泵,无油干泵,微型压缩机,涡旋压缩机等!

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浮动式无油涡旋真空泵、压缩机、膨胀机的研发、生产和销售
  • 适合使用无油真空泵的行业优先域概述
  • 本站编辑:思科涡旋科技(杭州)有限公司发布日期:2017-06-09 08:45 浏览次数:

  无油真空泵属于干式真空泵,相比油润滑真空泵使用会排除一定的二氧化碳和废气,它具有低碳、环保。而且无油真空泵不需要使用润滑油,运行稳点,使用周期长,没有油污等产生,符合现代企业节能的环保理念。

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  无油真空泵常见应用优先域:

  1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。

  2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求。

  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵。

  5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

  综上所述,无油真空泵无疑是顺应时代的潮流的设备,在这一个倡导节能减排,绿色环保的时代,无油真空泵的出现显然很是时候,在未来,会有更多的企业将会将眼光看向无油真空泵。